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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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crf等離子清洗機(jī)應(yīng)用在IC芯片和金屬表層的工序都非常完善

crf等離子清洗機(jī)應(yīng)用在IC芯片和金屬表層的工序都非常完善:
       等離子是電中性基團(tuán),但含有大量大量的親水性顆粒:電子、離子、激發(fā)態(tài)分子原子、自由基、光子等,能量范圍為1-10eV,這些能量水平是紡織材料中有機(jī)分子的能量范圍,因此等離子中的親水性顆粒與紡織材料的表面發(fā)生物理和化學(xué)功用,如解吸、濺射、刺激、侵蝕;交聯(lián)、氧化、聚合、接枝等化學(xué)反應(yīng)。

等離子清洗機(jī)


一、等離子清洗機(jī)清洗金屬表層
       金屬表層通常有機(jī)層和氧化物層,如油、油等,用等離子清洗設(shè)備清洗油是一個逐漸降解有機(jī)大分子的過程,在濺射、油漆、粘合、焊接、釬焊和聚氯乙烯、聚氯乙烯涂層之前,等離子清洗非常精細(xì),非常表面處理設(shè)備。利用等離子中的高能粒子,污垢將轉(zhuǎn)化為穩(wěn)定的小分子,經(jīng)等離子清洗設(shè)備加工處理的物體的表面形成許多新的親水性基團(tuán),使物體表面活性,改變性能,可大大提高物體的表面滲透性和粘附性能,等離子清洗過程不需要水和溶劑,只要空氣能滿足要求,使用方便,無污染,清洗后物體的表面干燥。
二、等離子清洗機(jī)清洗IC芯片
       在IC芯片制造行業(yè),等離子加工處理工序是一項(xiàng)不可替代的成熟技術(shù)。無論是注入芯片源離子還是涂層,等離子清洗機(jī)都能更好清除的表面氧化膜、有機(jī)化合物、去掩膜等超凈化加工處理,提升的表面滲透性。

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