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CRF plasma 等離子清洗機

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大部分人不曉得CRF_誠峰智造plasma清洗方式 是物理還是化學(xué)?

大部分人不曉得CRF_誠峰智造plasma的清洗方式 是物理還是化學(xué)?
      CRF_誠峰智造plasma清洗分為化學(xué)清洗、物理清洗和物理化學(xué)清洗。根據(jù)不同的清潔物體和工藝要求,可以選擇O2、H2或Ar等不同的混合氣體進行短時間的表面處理。
一、CRF-plasma清洗的化學(xué)反應(yīng)
利用plasma清洗中的高活性自由基與材料表面的有機物進行化學(xué)反應(yīng),也稱為pe。用O2清洗,使非易揮發(fā)有機物轉(zhuǎn)變成易揮發(fā)形態(tài),產(chǎn)生CO2、一氧化碳氣體和水?;瘜W(xué)清洗的優(yōu)點是清洗速度快。選擇性好,對清洗有(機)污染物有效。其最大的缺點是會在材料表面重新形成氧化物質(zhì)。氧化劑在引線鍵合時是不希望出現(xiàn)的,可通過適當選擇工藝參數(shù)來避免這些缺點。

plasma清洗

二、plasma清洗以物理反應(yīng)為主
利用plasma清洗中的離子進行純物理沖擊,去除附著在材料表面的原子,也稱為濺射腐蝕(SPE)。用氬氣清洗,氬離子用足夠的能量轟擊器件表面,沖擊力足以去除任何污垢。聚合物中的大分子化學(xué)鍵分離成小分子汽化,通過進口真空泵排出去。與此同時,氬等離子清洗后,可以改變材料表面的微觀形態(tài),使材料在分子范圍內(nèi)更加粗糙,可以大大提高表面活性和粘結(jié)性能。氬等離子的優(yōu)點是清潔材料表面不會留下氧化物質(zhì)。缺點是可能發(fā)生過度腐蝕或污染物顆粒在其他不想要的區(qū)域重新積累,但這些缺點可以通過細調(diào)工藝參數(shù)來控制。

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