型號(hào)：CRF-APS-500W

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：1000W/13.56MHz

處理高度：1-8mm(MAX)

處理寬幅：120-2000mm(Option)

工作氣體：AR+O2

型號(hào)：CRF-APO-R＆D-RXX

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：1000W/25KHz（Option）

處理高度：5-15mm

處理寬幅：旋噴式：20-80mm（Option）

工作氣體：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型號(hào)：CRF-APO-R＆D-DXX

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：1000W/25KHz（Option）

處理高度：5-15mm

處理寬幅：直噴式：1-6mm（Option）

工作氣體：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型號(hào)：CRF-APO-RP1020-D

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：600-1000W/25KHz（Option）

處理高度：5-15mm

處理寬幅：旋噴式：20-80mm（Option）

工作氣體：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型號(hào)：CRF-VPO-8L-M

外接電源：380V/AC,50/60Hz, 3kw

等離子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔體容量：80L(可定制)

腔體層數(shù)：8層(可定制)

工作氣體：Ar、N2、H2、CF4、O2

型號(hào)：CRF-APO-RP1020-D

電源：220V/AC,50/60Hz

功率：600-1000W/25KHz（Option）

處理高度：5-15mm

處理寬幅：旋噴式：20-80mm（Option）

工作氣體：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)