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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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誠峰真空等離子清洗設(shè)備的濺射現(xiàn)象會對產(chǎn)品有什么影響?

誠峰真空等離子清洗設(shè)備的濺射現(xiàn)象會對產(chǎn)品有什么影響?
       當(dāng)采用容性耦合充放電的真空底壓真空等離子清洗設(shè)備對原材料實(shí)行表層處理時,只需選擇的混合氣體是惰性氣體,便會形成-定的濺射的現(xiàn)象,這與直流輝光放電或是交流電高頻高壓電源實(shí)際上并沒有關(guān)系,那麼濺射的現(xiàn)象對真空等離子清洗設(shè)備所加工處理的產(chǎn)品也會有不良影響嗎?

真空等離子清洗設(shè)備

       誠峰真空等離子清洗設(shè)備的表面真空過濾器所形成的濺射的現(xiàn)象通常比較薄弱,而薄弱的濺射的現(xiàn)象對普通級的產(chǎn)品或原材料來說,并不會對原材料的基材特點(diǎn)形成不良影響,但假如所加工處理的產(chǎn)品對加工處理要求比較嚴(yán)格,如醫(yī)用相關(guān)產(chǎn)品,便會對濺射的現(xiàn)象的程度有所要求,通常為濺射越少越薄弱是越好的。大家再次從真空底壓等離子清洗機(jī)的電極結(jié)構(gòu)來先了解一下濺射,容性耦合的射頻真空等離子清洗設(shè)備,大部分全是會采用鋁合金型材用作電極,這也是主要是充分考慮鋁本身優(yōu)良的導(dǎo)熱性能和對等離子體的耐候性,而即便是鋁,在長期的等離子轟擊下,電極的表面仍也會有鋁分子逃逸出來。
       也正由于射頻濺射會將金屬粒子轟擊出來,而被轟擊出來的這部分金屬粒子可能會附在產(chǎn)品的的表面帶來污染,進(jìn)而不良影響產(chǎn)品,如醫(yī)用高分子材料的表面黏附合金分子,會對人的身體帶來安全風(fēng)險;半導(dǎo)體材料印制電路板則會由于合金的注入,而不良影響其打線的質(zhì)量。因此,為減少乃至避免射頻濺的現(xiàn)象,那麼就需要對底壓真空等離子清洗機(jī)的腔體結(jié)構(gòu)、電極板制冷、加工工藝技術(shù)參數(shù)等層面實(shí)行更改和調(diào)整。


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